據(jù)消息稱，近期中科院傳出喜訊，國產(chǎn)光刻機研發(fā)工作取得了關(guān)鍵性突破。據(jù)了解中科院下屬的上海光學(xué)機械研究所近日成功攻克EUV光刻機上的OPC技術(shù)，此項技術(shù)的掌握，使得在硬件不動的的情況下優(yōu)化光刻機，提升光刻機分辨率，使得制造更加的高效。

就整機而言，上海微電子完全具備了90納米光刻機的整機制造能力，目前在28納米光刻機上進行突破，預(yù)計會在年底開始下線生產(chǎn)。清華研究所傳出消息，已經(jīng)與德國聯(lián)邦技術(shù)學(xué)院達成了合作，進行更加先進的研發(fā)工作。

此前光刻機制造商阿斯麥和張忠謀都曾公開表示，中國無法造出一樣的光刻機。一個國家也不可能建立完整的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈。但是對于我們在光刻機這一領(lǐng)域所獲得的新進展，可以來講，也是臺積電以及阿斯麥萬萬沒料到的。

國內(nèi)在半導(dǎo)體領(lǐng)域進行自主研發(fā)，所獲得的成果令人十分欣喜的，按照目前來看，也就意味著不遠的將來，國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)無需再收到任何國家的阻礙和限制。